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陶瓷插片吸片板

  • 产品品牌:明睿陶瓷
  • 陶瓷材质:99氧化铝
  • 加工精度:±0.001mm
  • 产品特性:绝缘、耐磨、耐高温
  • 提供颜色:米黄
  • 定制加工:可根据图纸及样品加工定制
用于扩散炉:
扩散炉有垂直扩散炉(vertical)和水平扩散炉(horizontal)两种类型。
垂直扩散炉
垂直扩散炉是石英舟垂直于水平面,更加有利于机械手传送硅片,片内工艺参数一致性更好。
水平扩散炉是石英舟平行于水平面,一台可以4个或4个以上的工艺炉管,平均炉管的占地面积更小,片间的工艺参数较垂直扩散炉更好。
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永州明睿陶瓷科技有限公司
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