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陶瓷机械手臂/手指主要特点

发布时间:202020-12-16

明睿陶瓷专业生产用于半导体设备上使用的陶瓷配件,例如陶瓷手臂,模块等。主要材料包括95-99.9%氧化铝,氧化锆,以及氮化硅,碳化硅陶瓷。基本尺寸精度可以控制在0.005mm左右。

主要特点:

・致密质,高硬度,高耐磨性

・良好的耐热性能

・优良的机械强度

・高温环境仍具有良好的绝缘性

・良好的抗腐蚀性

应用领域:

・耐磨耗衬板材料,

・半导体生产制造用备件,粉碎媒介

・耐热部件

・化学实验用各种备件

・化学品过滤器

・各种粉碎设备

・其它相关的半导体电子生产用备品备件

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