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光伏LPCVD石英舟陶瓷吸盘
发布时间:2018-10-09    来源: 明睿陶瓷   作者:管理员

LPCVD悬臂舟陶瓷真空吸盘主要用于半导体光伏行业中薄膜的制备。如扩散上下料机,悬臂舟是扩散上下料机中的关键部件,主要用于扩散前后的硅片装卸。

采用精密耐磨耐高温陶瓷结构的悬臂舟或称装卸片机械手通常由50片真空吸盘组成,一次可装卸50片硅片。陶瓷结构的悬臂舟有着不变形、无污染、易维护的优点。悬臂舟依靠真空吸盘的吸力和硅片自身重量采用软着陆的方式装卸硅片,可大幅降低碎片率和对载具的精度要求。真空吸盘单片误差可控制在0.005mm以内,50片叠加误差不超过0.2mm

21.jpg

LPCVD石英舟,扩散石英舟,氧化锆承载舟主要用于半导体光伏行业中薄膜的制备。在LPCVD(低压化学气相淀积)工艺中石英舟是硅片在反应室中的载具。

明睿陶瓷生产的陶瓷石英舟托齿和吸盘采用精密耐磨耐高温的氧化锆陶瓷材料,目前主要分4.76、2.38两种齿距。氧化锆石英舟强度高不易变形,无污染,扩散过程中不易粘舟,容易维护,相比普通石英舟使用寿命更长。



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